多对向靶磁控溅射薄膜沉积系统

2018-08-15 10:12:45 来源: 浏览:

 

 准分子激光器激光波长248 nm,最大能量420 mJ,激光脉冲1-10 Hz可调。真空室极限真空5×10-8  Pa,基片温度室温800°C 可控,靶和基片自转速度可调,电子衍射仪可监控单晶薄膜生长。

 

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