有机光电子器件制备系统

2018-08-15 10:15:00 来源: 浏览:

性能指标

    手套箱尺寸都≥1800mm()×1000mm()×900mm(),泄漏率≤0.001vol%/h,水含量≤1ppm,氧含量≤1ppm。镀膜机极限真空≤6×10-5Pa;漏率≤7×10-8Pa•L/S;工作真空≤2×10-4Pa;恢复工作真空时间≤40分钟。

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