激光分子束外延(LMBE)薄膜制备系统

2018-08-15 10:17:36 来源: 浏览:

激光分子束外延(LMBE)薄膜制备系统:沈阳科艺公司生产。主要用于生长光学晶体、铁电体、铁磁体、超导体及有机化合物等薄膜材料。其真空度可达6.7×10-8Pa。

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